ＳｔｕｄｙｏｆＰｒｅｐａｒｉｎｇＰｏｒｏｕｓＴｉｔａｎｉｕｍｂｙＰｌａｓｍａＡｃｔｉｖａｔｅｄＳｉｎｔｅｒｉｎｇ

doi:10.3969/j.issn.1009-0479.2012.05.001

HPMug2oMmNrOfxWQHLiEksa6s0hFu9Ox348d7QefarYlaFR5ArkhOwm3Da1pmxmxCtenj1+6luWD#r#n+EPn9L6Ce+9onqnMlT+i ›› 2012, Vol. 28 ›› Issue (5): 1-.DOI: 10.3969/j.issn.1009-0479.2012.05.001

（１．ＦａｃｕｌｔｙｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＫｕｎｍｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｋｕｎｍｉｎｇ６５０５００，Ｃｈｉｎａ；２ａ．ＦａｃｕｌｔｙｏｆＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ｂ．ＦａｃｕｌｔｙｏｆＭｅｔａｌｌｕｒｇｙＭａｔｅｒｉａｌｓ，ｃ．ＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＤｅｐａｒｔｍｅｎｔ，ＫｕｎｍｉｎｇＭｅｔａｌｌｕｒｇｙＣｏｌｌｅｇｅ，Ｋｕｎｍｉｎｇ６５００３３，Ｃｈｉｎａ）

Online:2012-12-06 Published:2012-12-06

Abstract

Abstract: Ｔｈｅｐｏｒｏｕｓｔｉｔａｎｉｕｍｓｗｉｔｈａｄｊｕｓｔａｂｌｅｐｏｒｅｓｉｚｅａｎｄｇｏｏｄｃｏｎｎｅｃｔｉｖｉｔｙａｒｅｐｒｅｐａｒｅｄbｙｐｌａｓｍａａｃｔｉｖａｔｅｄｓｉｎｔｅｒｉｎｇ．Ｔｈｉｓｒｅｓｅａｒｃｈｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｓｔｈｅｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｃａｌｐｒｏｃｅｓｓｏｆｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ，ｄｅｔｅｒｍｉｎｅｓｔｈｅｏｐｔｉｍａｌｐｒｏｃｅｓｓｐａｒａｍｅｔｅｒｓ，ｓｔｕｄｉｅｓｔｈｅａｍｏｕｎｔｏｆｆｏａｍｉｎｇａｇｅｎｔｔｏｂｅａｄｄｅｄａｎｄｔｈｅｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｆｂｒｉｑｕｅｔｔｉｎｇｐｒｅｓｓｕｒｅｔｏｔｈｅｐｏｒｏｕｓｔｉｔａｎｉｕｍｗｉｔｈｐｏｒｅｓ，ａｎｄｆｉｎａｌｌｙｏｂｓｅｒｖｅｓｔｈｅｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｏｆｔｈｅｓａｍｐｌｅｓ．

Key words: ｐｌａｓｍａ, ａｃｔｉｖａｔｅｄｓｉｎｔｅｒｉｎｇ, Ｐｏｒｏｕｓｔｉｔａｎｉｕｍ, ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ

CLC Number:

ＴＦ８２３

ZHANG Xian-Ya, WU Meng-Yang. ＳｔｕｄｙｏｆＰｒｅｐａｒｉｎｇＰｏｒｏｕｓＴｉｔａｎｉｕｍｂｙＰｌａｓｍａＡｃｔｉｖａｔｅｄＳｉｎｔｅｒｉｎｇ[J]. HPMug2oMmNrOfxWQHLiEksa6s0hFu9Ox348d7QefarYlaFR5ArkhOwm3Da1pmxmxCtenj1+6luWD#r#n+EPn9L6Ce+9onqnMlT+i, 2012, 28(5): 1-.

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