不同激光能量和 Zr/Ti 比对 PLD 法制备PZT薄膜结晶质量的影响
李瑛娟, 滕 瑜, 宋群玲, 杨志鸿, 蔡川雄, 张金梁
Effect of Different Laser Energies and Zr/Ti Ratio on the Crystalization Quality of PZT Thin Film Prepared by PLD Method
LI Yingjuan, TENG Yu, SONG Qunling, YANG ZhihongCAI Chuanxiong, ZHANG Jinliang
昆明冶金高等专科学校学报
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2021, (3): 7
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DOI: １０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００９－０４７９．２０２１．０３．００２
